民建科技支部会员单位助力半导体微观检测

作者:王静 责任编辑:方薇 信息来源:民建安徽省委网站 点击量:1360 发布时间:2022-11-23 14:42:47

日前,由民建会员单位中科星辰半导体装备有限公司自主研发的高性能微小零部件分拣装备顺利发往国内半导体元器件制造头部企业,助力国产先进制程芯片品质提升。

近年来,随着芯片制程工艺的迭代突破,器件微型化与低功耗成为重要趋势,高倍率微观缺陷检测设备需求迫切。我会员单位中科星辰半导体装备有限公司研发的iSort-2516智能分拣装备可兼容实现多规格的石英晶体微观清晰稳定成像,配合精密位移伺服系统与自主研发的瑕疵识别算法,可实现高密度样本的快速采集、精确定量的瑕疵识别以及数据压缩和存储溯源。iSort-2516单盘样品图像分辨率高达3亿像素,瑕疵识别为um级,对晶片破损、金丝断裂等多类型瑕疵实现了精确识别和零漏检分类,为高品质芯片提供了品质保障。

合肥中科星辰半导体装备有限公司成立于2022年7月,初创成员由中国科学院智能图像团队组成,团队负责人聂余满为民建会员。公司主要从事高精密智能图像算法研发与智能制造装备研制。依托中科院科研与工程化平台,公司团队在高性能图像处理、微小缺陷检测和机电系统开发等领域积累了丰富经验,团队研制并完成交付智能图像装备40余套,合作客户包括国内半导体生产、新冠抗原制造等领域多家头部企业,实现了超精度、高难度等微观检测技术上的大迈进。


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